Materjaliteaduse bakalaureusetööd – Bachelor's theses
Selle kollektsiooni püsiv URIhttps://hdl.handle.net/10062/30308
Sirvi
Sirvi Materjaliteaduse bakalaureusetööd – Bachelor's theses Märksõna "aatomkihtsadestamine" järgi
Nüüd näidatakse 1 - 9 9
- Tulemused lehekülje kohta
- Sorteerimisvalikud
Kirje Aatomkihtsadestamise protsesside mõju alumiiniumoksiid kile mehaanilistele omadustele(Tartu Ülikool, 2024) Koppel, Natali; Piirsoo, Helle-Mai, juhendaja; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutAatomkihtsadestatud (ALD) Al2O3 kile kasutatakse palju nano- ja mikrostruktuursetes seadmetes tema dielektriliste omaduste tõttu, kaasa arvatud painduval elektroonikal, kus polümeersele alusele transistorite valmistamisel peab temperatuur olema alla 350 °C. Antud töös vaadeldi 3 erineva ALD protsessi (Al(CH3)3/H2O, Al(CH3)3/O2 plasma, Al(CH3)3/O3) ja 3 eri sadestustemperatuuri (80, 150, 300 °C) mõju Al2O3 kile mehaanilistele omadustele. Mehaaniliselt karakteriseeriti kiled nanotäkkimisel, mil määrati nende kõvadus ja Youngi moodul. Kile kõvadus tõusis sadestustemperatuuriga sõltumata hapnikuallikast ja Youngi moodul H2O ja O3 kasutades. 80 ºC juures valmistati kõige kõvemad (9 GPa) ja kõrgema Youngi mooduliga (157 GPa) Al2O3 kiled O2 plasma protsessis. Antud protsessi kiled olid kõige homogeensemad. Kõige suuremad paksuse gradiendid esinesid O3 protsessides. 300 ºC juures valmistati kõige kõvemad (12 GPa) ja kõrgema Youngi mooduliga (174 GPa) Al2O3 kiled H2O protsessis.Kirje Aatomkihtsadestatud tahkiskeskkondade varieeruva stabiilsusega takistuslülituslik käitumine(Tartu Ülikool, 2022) Viskus, Toomas Daniel; Kukli, Kaupo, juhendaja; Merisalu, Joonas, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutKirje Meditsiinilise titaani funktsionaliseerimine aatomkihtsadestatud kiledega(Tartu Ülikool, 2015) Aaviksoo, Elyne; Merisalu, Maido, juhendaja; Klaas, Mariliis, juhendaja; Sammelselg, Väino, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutKirje Memristorstruktuurid erineva jäikusega alustel(Tartu Ülikool, 2024) Urb, Lii; Kukli, Kaupo, juhendaja; Kahro, Tauno, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutUurimistöö on suunatud memristorstruktuuride valmistamisele erineva jäikusega alustele ning seejärel erinevate karakteriseerimismeetoditega struktuuri osade karakteriseerimine. Lisaks sellele analüüsiti erinevatest metallidest elektroodide mõju memristorstruktuurile ja elektroodi adhesiooni erinevatest materjalidest alustega. Memristorstruktuuri takistuslülituslike omaduste karakteeriseerimiseks viidi läbi elektrilised mõõtmised. Viimased elektrilised mõõtmised viiakse läbi hiljem.Kirje Mustad katted(Tartu Ülikool, 2018) Toots, Karl Marti; Merisalu, Maido, juhendaja; Sammelselg, Väino, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutKirje Nanostruktuursete oksiidkatete kõvaduse määramine(Tartu Ülikool, 2018) Piirsoo, Helle-Mai; Merisalu, Maido, juhendaja; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Sammelselg, Väino, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutKirje TiO2 maatriksist ja kulla nanoosakestest koosnev nanostruktuur valguse neelduvuse suurendamiseks kilepäikesepaneelides(Tartu Ülikool, 2016) Krautmann, Robert; Tamm, Aile, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutKirje Titaandioksiidi aatomkihtsadestamine kvartsile ja safiirile: aluste mõju õhukeste kilede kasvukiirusele ja struktuurile(Tartu Ülikool, 2012) Möldre, Kristel; Aarik, Jaan, juhendaja; Tarre, Aivar, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja tehnoloogiateaduskond; Tartu Ülikool. Füüsika instituutKirje ZrO2 ja HfO2 kihtstruktuuride mehaanilised ning optilised omadused(Tartu Ülikool, 2018) Kull, Mikk; Jõgiaas, Taivo, juhendaja; Tamm, Aile, juhendaja; Tartu Ülikool. Loodus- ja täppisteaduste valdkond; Tartu Ülikool. Füüsika instituut