Aatomkihtsadestamise meetodil valmistatavate kilede kasvu jälgimine ja kasvukiiruse salvestamine elektroonsel kujul

Failid

lohmus_indrek_bakalaureusetoo.pdf (3.48 MB)

Kuupäev

2009

Autorid

Ajakirja pealkiri

Ajakirja ISSN

Köite pealkiri

Kirjastaja

Tartu Ülikool

Abstrakt

Kirjeldus

Märksõnad

Viide

URI

http://hdl.handle.net/10062/70100

Kollektsioonid

MTAT bakalaureusetööd – Bachelor's theses