HfO2 kilede aatomkihtkasvu uurimine

Files

rammula.pdf (1.07 MB)

Date

2005

Authors

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Abstract

Description

Keywords

chemistry, thin films

Citation

URI

http://hdl.handle.net/10062/1211

Collections

1. TÜ väitekirjad alates 2004 - Theses, PhD, MSc, ETD